①首先检查输入给速度调节器的信号，即给定信号。给定信号由位置偏差计数器发出，经D/A转换器转换成模拟量VCMD、再送入速度调节器。应查一下这个信号是否有振动分量，如它只有一个周期的振动信号，可以确认速度调节器没有问题，而是前级的问题，即应到D/A转换器或位置偏差计数器中去查找问题。如果正常，就转向查找测速发电机和伺服电动机的问题。
②检查测速发电机及伺服电机。当机床振动时，说明机床速度在振荡，测速发电机反馈回来的波形一定也在振荡，观察它的波形是否出现有规律的大起大落。这时，*好能测一下机床的振动频率与电动机旋转的速度是否存在一个准确的比例关系，如振动的频率是电动机转速的四倍频率，这时就应考虑电动机或测速发电机有故障。首先要检查电动机有无故障，查其碳刷、换向器表面状况，如果没有问题，就再检查测速发电机。
③速度调节器故障。若采用上述方法还不能完全消除振动，甚至无任何改善，就应考虑速度调节器本身的问题，应更换速度调节器板或换下后彻底检测各处波形。
④检查振动频率与进给速度的关系。若二者成比例，除机床共振原因外，多数是因为CNC系统插补精度太差或位置检测增益太高引起的，需要进行插补调整和检测增益的调整。如果与进给速度无关，则可能原因有：速度控制单元的设定与机床不匹配，速度控制单元调整不好，该轴的速度环增益太大或速度控制单元的印制电路板不良。
实例：X轴振荡的故障维修
故障现象：一台配套FANUCOMC的数控机床，加工中心X轴负载有时突然上升到80%，同时X轴电动机嗡嗡作响；有时又正常。
分析及处理过程：现场观察发现X轴电动机嗡嗡作响的频率较低，故判断X轴发生低频振荡。发生振荡的原因有：
①轴位置环增益不合适；
②机械部分间隙大，传动链刚性差，有卡滞；
③负载惯量较大。
经查X轴位置增益未变，负载也正常。此机床由于一直进行重切削加工，X轴间隙较大，刚进行过间隙补偿。经查X轴间隙补偿参数0535，设定值为250，用百分表测得X轴实际间隙为0.22，补偿过渡；直到将设定值改为200后，X轴振荡才消除。